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荷兰光刻机

荷兰光刻机如下:

荷兰有一家公司ASML,它是全球做光刻机360问答最好的国家,这个根本不用质疑,这家公司拥有强大的科研实力,碾压了美国英国等等貌似芯片软件实力极强的国家。

而且这家公司非常精准的抓住了光刻机技术发展的转折点,旗下的利用光源进行的浸没式系统成功打破所有国家对于光刻机的幻想,所以荷兰才能在全球的芯片制作技术中立于不败之地。

ASML为半导体生产商提夫己培马供光刻机及相关服务,TWINSCAN系列是世界上精度最高,生产效率最高,应用最为广泛的高端光刻机型。

ASML的产品线分格外周低社状氧为PAS系列、AT系列、XT可系列和NXT系列,其中PAS系列现已停产;AT系守延神利的简这列属于老型号,多数已经停产。市场上的主力机种是XT系列以及NXT系列,为ArF和KrF激光光源,XT系列是成熟的机型,分为干式和沉浸式两种,而NXT备效务防系列则是主推的高端机型,全部为沉浸式。

荷兰光刻机

技术前景:

除了致力于开发的TWINSCAN平势照顺伟远士台外,ASML还在积极与IME坐水杨逐承C,IBM等半导体公司合作,开天要月发下一代光刻技术,比如EUV,用于关键尺度在22纳米甚至更低的集成电路制造。

ASML已经向客户递交若干项校松提规真采破台EUV机型,用于研发和实验。同时,基于传统TWINSCAN平台的双重曝光等新待雨让兴技术,也在进一步成熟和研发过程当中。2007年末三星(Samsung)宣布成功生产的36纳米闪存呀复上啊赶河般,基于的便是双重曝刚除光技术。

以上内容参考:百度百科—ASML公司

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