问题补充说明:分不清ito靶材和ito薄膜?磁控溅射是生产哪个?
ito靶材属于陶瓷靶材的一种,近些年来人们对于电脑、电视、手机显示屏的追求越发明显,由此也带动了ito靶材蔽滑的市场需求。但目前ito技术发展还不够先进,发展空间巨大。
ITO材料是一种n型半导体材料,该种材料包括ITO粉滑悉末、靶材、导电浆料及ITO透明导电薄膜。其主要应用分为平板显示器(FPD尽抗响无迅弦里以)产业,如液晶显示器(LCD)、薄膜晶体管显示器(TFT-LCD)、电激发光显示器(EL)、场发射显示器(FED)、电致有机发光平面显示器(OELD)等离子显脚益铁示器(PDP)等。
扩展资料:
国内对ITO靶材的需求量般短草尼袁大幅增长,国内生产的ITO靶材密度低,无法满足高宏让腊端平板显示器行业对于但报活磁氢措靶材质量的要求.也家优县威缺治河心仅仅部分用于低端液晶产品中。目前世界上只有日本、美国小刑、德国等少数发达国家和地区能生产ITO靶材,而我国平板显示器产业所需求的ITO靶材的98%依赖于进口,因此,研制开发ITO靶材生产技术是现有In生产企业开发In深加工技术的首选目标。
国外ITO靶材的生产工艺和技术设备已较为成熟和稳定。其主要制备方法有热等静压法、热压法和烧结法。