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电子束加工方法是利用电子束的能量对材料进行处理、加工的一种现代技术方法。该法自60年代以来，已获得较快发展，亦已实际应用。它的主要特点是：①由于电子束经聚焦后具有高的功率和功率密度，可在一瞬间内把大量能量传给加工部件，有选择性地使某些成分挥发，形成所需要的形状和尺寸;②上述过程可在真空中进行，防止污染，有利于制造高纯度的半导体器件和大规模集成电路;③可受电子计算机的控制，有很高的加工精度，正在发展成亚微米级甚至纳米级的微细加工技术。
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