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电子探针方法

电子探针方法

电子探针方法是利用高能电子束对样品进行成分分析的方法。基本原理是利用电磁透镜聚焦的高能电子束轰击固体表面的某一点,被轰击的元素激发出特征X射线,而特征X射线辐射的频率是发射元素原子序数的函数,因而通过对特征X射线频率和强度的分析便可得到样品表面元素分布和形貌特征。

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