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氮化硅PECVD

用户头像jacky 2024-10-22 04:40 阅读 440

氮化硅PECVD

氮化硅PECVD是一种用于化学、信息与系统科学相关工程与技术、材料科学、化学工程领域的工艺试验仪器，于2019年3月11日启用。

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