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EDX

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EDX点扫,面扫和mapping这三者之间有什么差别?

就定量来说,SEM点分析比线分析和面分析更准确,扫描的方式不同,线分析和面分析只能定性的分析观察视场的元素分布情况(线分析是沿着某个界面的元素分布起伏,而面分析是看整个视场的元素分布情况)积充,点分析可以基本定量分析元素。

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